Pressure influence on the depth resolution of rf-glow discharge depth profiling of multilayer coatings
MetadatenAutor*innen: | Vasile-Dan HodoroabaORCiD, Thomas Wirth |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of analytical atomic spectrometry |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 1999 |
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Verlag: | Royal Society of Chemistry |
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Verlagsort: | London |
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Jahrgang/Band: | 14 |
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Erste Seite: | 1533 |
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Letzte Seite: | 1535 |
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Freie Schlagwörter: | rf system |
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ISSN: | 0267-9477 |
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ISSN: | 1364-5544 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Ja |
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Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 26.07.2000 |
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