Zertifizierung einer in Silizium implantierten Antimon-Schicht mit ICP-IDMS

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Autor*innen:Jochen VoglORCiD
Koautor*innen:Achim Berger, Klaus Ecker, Wolfgang Pritzkow, Gundel Riebe
Dokumenttyp:Posterpräsentation
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):INAA und RBS ANAKON 2001
Jahr der Erstveröffentlichung:2001
Veranstaltung:INAA und RBS ANAKON 2001
Veranstaltungsort:Konstanz, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:2001-04-04
Enddatum der Veranstaltung:2001-04-07
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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