Zertifizierung einer in Silizium implantierten Antimon-Schicht mit ICP-IDMS
Metadaten| Autor*innen: | Jochen VoglORCiD |
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| Koautor*innen: | Achim Berger, Klaus Ecker, Wolfgang Pritzkow, Gundel Riebe |
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| Dokumenttyp: | Posterpräsentation |
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| Veröffentlichungsform: | Präsentation |
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| Sprache: | Deutsch |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | INAA und RBS ANAKON 2001 |
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| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2001 |
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| Veranstaltung: | INAA und RBS ANAKON 2001 |
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| Veranstaltungsort: | Konstanz, Germany |
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| Beginndatum der Veranstaltung: | 2001-04-04 |
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| Enddatum der Veranstaltung: | 2001-04-07 |
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| Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
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| Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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| Referierte Publikation: | Nein |
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