AES Depth Profiling of Semiconducting Epitaxial Layers with Thicknesses in the Nanometre Range Using an Ion Beam Bevelling Technique
MetadatenAutor*innen: | Mathias ProcopORCiD, A. Klein, I. Rechenberg, D. Krüger |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Surface and interface analysis |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 1997 |
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Verlag: | Wiley |
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Verlagsort: | Chichester |
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Jahrgang/Band: | 25 |
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Erste Seite: | 458 |
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Letzte Seite: | 463 |
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Freie Schlagwörter: | AES; Depth profiling; Ion beam bevelling |
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ISSN: | 0142-2421 |
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ISSN: | 1096-9918 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
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Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Ja |
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Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 07.03.2005 |
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