Report on an inter-laboratory comparison - Measurement of lateral structures in the nanometre range with Secondary Ion Mass Spectrometry; Project "Quality Assurance in Nano-scale Analysis" (Abschlussbericht)

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Autor*innen:Mathias Senoner
Dokumenttyp:Forschungsbericht
Veröffentlichungsform:Eigenverlag BAM
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2003
Verlag:Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung
Verlagsort:Berlin
Erste Seite:1
Letzte Seite:34
Freie Schlagwörter:Laterale Auflösung; Nanotechnologie; Oberflächenanalytik; Ringversuch; SIMS; Sekundärionen-Massenspektrometrie
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Bibliotheksstandort:He 1623
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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