Rastersondenmikroskopie als Werkzeug der Lithographie für Nanostrukturen
Autor*innen: | M. Heyde, Heinz SturmORCiD, Markus Geuss, C. Ritter, K. Rademann |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Deutsch |
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Humboldt-Spektrum |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 1999 |
Verlag: | Universität <Berlin, Humboldt-Universität> |
Verlagsort: | Berlin |
Jahrgang/Band: | 6 |
Ausgabe/Heft: | 3 |
Erste Seite: | 28 |
Letzte Seite: | 33 |
ISSN: | 0946-641X |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |