Correlation between Crystal Orientation, Channeling Contrast and Topography during FIB Milling of Cu Studied by FIB, EBSD, SEM, and AFM
- We have studied the anisotropic milling of Cu with respect to the milling rate and the milling topography, as well. The background is twofold: i) anisotropic milling has to be taken into account during the preparation of TEM specimens and in the manufacturing of micro parts from crystalline materials, and ii) the orientation depending milling behaviour can be used to generate topographies with specific properties with respect to, for example, adsorption, wear, and corrosion.
Autor*innen: | U. Wendt, Gert Nolze |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Praktische Metallographie |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2007 |
Verlag: | Carl Hanser Verlag |
Jahrgang/Band: | 44 |
Ausgabe/Heft: | 5 |
Erste Seite: | 236 |
Letzte Seite: | 238 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten | |
Freie Schlagwörter: | AFM; Crystal orientation; FIB; SEM |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 01.11.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |