Evaluation of mechanical properties in the nanometer range - trueness and precision

  • The aim of this study was to evaluate the limitations in the nanometer range film thickness for the application of instrumented indentation test (IIT) and to prepare an accuracy experiment (round robin) for validation of IIT and certification of coating/substrate systems.

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Metadaten
Autor*innen:Michael Griepentrog
Koautor*innen:Thomas Chudoba, Alexander Dück, Uwe Beck
Dokumenttyp:Posterpräsentation
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):The 51st Annual Conference on Mass Spectrometry (AIST 2003)
Jahr der Erstveröffentlichung:2003
Veranstaltung:The 51st Annual Conference on Mass Spectrometry (AIST 2003)
Veranstaltungsort:Tsukuba, Japan
Beginndatum der Veranstaltung:2003-05-14
Enddatum der Veranstaltung:2003-05-16
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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