Glow discharge optical emission spectrometry: moving towards reliable tion film analysis - a short review

  • Glow discharge optical emission spectroscopy (GD-OES) is briefly reviewed, with particular reference to topics relevant to the application field of near surface and thin film analysis. The special needs and requirements for thin film analysis, in contrast to coating and bulk analysis, are pointed out. A task list is developed which shows the requirements of further developments to the technique and the fundamentals. The state-of-the-art is presented in measurement technique, GD source control and design, the effect of traces of molecular gases, correction and quantification procedures, contributions of modelling and, finally, reference materials for thin film analysis.

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Autor*innen:J. Angeli, A. Bengtson, A. Bogaerts, V. Hoffmann, Vasile-Dan HodoroabaORCiD, E. Steers
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Journal of analytical atomic spectrometry
Jahr der Erstveröffentlichung:2003
Verlag:Royal Society of Chemistry
Verlagsort:London
Jahrgang/Band:18
Ausgabe/Heft:6
Erste Seite:670
Letzte Seite:679
DOI:10.1039/b301293j
ISSN:0267-9477
ISSN:1364-5544
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:12.06.2003
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