MetadatenAutor*innen: | F. Reuther, Ralph-Peter Krüger, Günter Schulz, G. Baehr, U. Westerwelle, G. Gruetzner |
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Persönliche Herausgeber*innen: | F. M. Houlihan |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Sammelband |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Advances in resist technology and processing XVII |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2000 |
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Herausgeber (Institution): | Conference on Advances in Resist Technology and Processing |
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Verlag: | SPIE |
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Verlagsort: | Bellingham |
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Ausgabe/Heft: | 3999 |
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Erste Seite: | 464 |
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Letzte Seite: | 471 |
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Freie Schlagwörter: | Chromatography; Gel permeation; MALDI-TOF-MS; Novolak; Structure; Synthesis |
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Veranstaltung: | 17th Annual SPIE Conference on Advances in Resist Technology and Processing |
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Veranstaltungsort: | Santa Clara, CA, USA |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 2000-02-28 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 2000-03-01 |
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ISSN: | 1605-7422 |
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ISBN: | 0-8194-3617-8 |
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Bemerkung: | Serientitel: SPIE proceedings series – Series title: SPIE proceedings series |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
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Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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