Accuracy of step height determination by Atomic Force Microscopy - results of an inter-laboratory comparison

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Autor*innen:Mathias Senoner, Wolfgang UngerORCiD, L. Koenders, G. Wilkening
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Graue Literatur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proceedings of the 3rd International Conference European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen)
Jahr der Erstveröffentlichung:2002
Erste Seite:773
Letzte Seite:776
Veranstaltung:3rd International Conference European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen)
Veranstaltungsort:Eindhoven, The Netherlands
Beginndatum der Veranstaltung:2002-05-26
Enddatum der Veranstaltung:2002-05-30
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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