MetadatenAutor*innen: | Hiroyuki Niino, Jörg KrügerORCiD, Wolfgang Kautek |
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Persönliche Herausgeber*innen: | J. Dubowski, P. Dyer |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Sammelband |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing III |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 1998 |
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Verlag: | SPIE |
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Verlagsort: | Bellingham, Wash. |
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Ausgabe/Heft: | 3274 |
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Erste Seite: | 128 |
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Letzte Seite: | 132 |
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Freie Schlagwörter: | Biochemical reaction mechanisms and kinetics; Laser irradiation surface effects; Photochemical reactions of biomolecules; Surface and interface chemistry of polymers |
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Veranstaltung: | 3rd Three-Day Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing, LAMOM ; LASE ; Photonics West |
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Veranstaltungsort: | San José, CA, USA |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 1998-01-26 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 1998-01-28 |
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ISSN: | 1605-7422 |
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ISBN: | 0-8194-2713-6 |
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Bemerkung: | Serientitel: SPIE proceedings series – Series title: SPIE proceedings series |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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