Chemical, morphological and accumulation phenomena in ultrashort-pulse laser ablation of TiN in air

  • Ultrashort-pulse laser ablation (F=130 fs, 5=800 nm, repetition rate 2-20 Hz) of titanium nitride was investigated for laser fluences between 0.3 and 4.5 J/cm2 using the direct focusing technique in air. The influence of the laser pulse number and the peak fluence was investigated by means of several surface analytical techniques (optical microscopy, dynamic friction atomic force microscopy, scanning Auger electron microscopy and small-spot electron spectroscopy for chemical analysis). The correlation of the results about optical, physical and chemical properties of the irradiated areas allows us to propose a simple oxidation model, which explains different observed phenomena associated with surface damage such as mound formation and crater widening and clarifies the incubation behavior reported earlier for this material.

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Autor*innen:Jörn BonseORCiD, Heinz SturmORCiD, Dieter Schmidt, Wolfgang Kautek
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Applied physics A
Jahr der Erstveröffentlichung:2000
Verlag:Springer
Verlagsort:Berlin
Jahrgang/Band:71
Ausgabe/Heft:6
Erste Seite:657
Letzte Seite:665
DOI:10.1007/s003390000585
ISSN:0947-8396
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:11.01.2001
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