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Feinreinigung von Oberflächen mit Niederdruckplasmen

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Autor*innen:Jörg Florian Friedrich, P. Krüger
Persönliche Herausgeber*innen:G. Blasek, G. Bräuer
Dokumenttyp:Buchkapitel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):Vakuum - Plasma - Technologien - Beschichtung und Modifizierung von Oberflächen - Teil II
Jahr der Erstveröffentlichung:2010
Verlag:Eugen G. Leuze
Verlagsort:Bad Saulgau
Ausgabe/Heft:Kap. 3.15
Erste Seite:1085
Letzte Seite:1106
Freie Schlagwörter:Plasma-Oberflächenreinigung
ISBN:978-3-87480-257-4
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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