Photoablation with sub-10 fs laser pulses
- Ablation experiments in several glasses with single and multishot irradiation by laser pulses in the 10-fs pulse duration domain are presented; physical and technological implications are discussed. We demonstrate that these short pulses offer the potential for lateral and vertical machining precision of the order of 100 nm.
Autor*innen: | Jörg KrügerORCiD, Wolfgang Kautek, M. Lenzner, F. Krausz |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Applied surface science |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2000 |
Verlag: | North-Holland |
Verlagsort: | Amsterdam |
Jahrgang/Band: | 154-155 |
Erste Seite: | 11 |
Letzte Seite: | 16 |
Freie Schlagwörter: | Ablation; Femtosecond pulses; Laser pulses |
DOI: | 10.1016/S0169-4332(99)00432-8 |
ISSN: | 0169-4332 |
ISSN: | 1873-5584 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 26.07.2000 |