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Ellipsometry as a production measurement tool

  • Spectroscopic Ellipsometry is an enormously versatile measurement tool for surfaces and thin layers. We discuss the use of ellipsometry in the context of quality control in production processes of eletrconic devices.

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Metadaten
Autor*innen:Andreas HertwigORCiD
Koautor*innen:Elena Ermilova
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2023
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:Ellipsometry; Metrology; Quality control
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Material
Material / Nano
Veranstaltung:Photonics Days Berlin Brandenburg
Veranstaltungsort:Berlin, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:09.10.2023
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:11.04.2024
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Ja
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