Curved-surface metrology by imaging Mueller-matrix ellipsometry
- Outline - maging ellipsometry: oncept and setup - Basic theory: ellipsometry on tilted/curved surfaces - Geometric considerations - Tilt-induced cross-polarization - Application: coating analysis on microlensarray - Mueller-Matrix Imaging - Conversion to Delta-Psi Image - Layer-thickness of ITO coating
Autor*innen: | M. Duwe |
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Koautor*innen: | Daniel Fischer, J.-H. Quast, S. Schneider, Uwe Beck |
Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2019 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.7 Materialsynthese und Design | |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten | |
Freie Schlagwörter: | Curved surfaces; Mueller-Matrix Ellipsometry; Spectroscopic Imaging |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Material | |
Veranstaltung: | 8th International conference on spectroscopic |
Veranstaltungsort: | Barcelona, Spain |
Beginndatum der Veranstaltung: | 26.05.2019 |
Enddatum der Veranstaltung: | 31.05.2019 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 03.07.2019 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |