Zitieren Sie bitte immer diesen URN: urn:nbn:de:kobv:b43-498105
Effect of curvature of spherical microscopic indentations on the ellipsometric readout
- The authors describe and interpret curvature-related changes to the ellipsometric readout. As model system for a concave curvature, a set of three spherical microscopic indents in silicon (100) of different sizes was prepared by instrumented indentation testing using a spherical indenter. For reference, these samples were characterized by AFM to reveal the topography of each structure. The concavelike indents were analyzed by Mueller-Matrix imaging ellipsometry to extract lateral intensity images of 12 elements of the Mueller-Matrix. As a result of the detailed analysis of the image elements m22, m23, and m14, it was possible to correlate intensity changes and symmetry properties to depolarization and cross polarization induced by the edge threshold and the curved surface of the indent.
Autor*innen: | Daniel Fischer, Michael Griepentrog, Uwe Beck, M. Duwe, J.-H. Quast, S. Schneider |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Vacuum Science & Technology B 37 |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2019 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.7 Materialsynthese und Design | |
Veröffentlichende Institution: | Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) |
Verlag: | American Vacuum Society |
Jahrgang/Band: | 37 |
Ausgabe/Heft: | 6 |
Erste Seite: | 062906-1 |
Letzte Seite: | 062906-5 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten | |
Freie Schlagwörter: | Mueller-Matrix imaging ellipsometry; Spectroskopic Imaging; Structural anomalies; Structural inhomogenities |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Material | |
DOI: | 10.1116/1.5122252 |
URN: | urn:nbn:de:kobv:b43-498105 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access") |
Lizenz (Deutsch): | Creative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International |
Datum der Freischaltung: | 28.11.2019 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 16.04.2020 |