Biegeversuche an SI- und SIO2-Nanodrähten
- 3-Punkt Biegeversuche an Si-basierten Mikro/Nanodrähten wurden im REM mittels Mikromanipulator mit Kraftmessspitze durchgeführt. Die Kraft wurde nach Kalibrierung der Messspitze direkt abgegriffen. Die Auslenkung des Drahtes wurde durch eine Videosequenz im REM aufgenommen und anschließend über die Bildkorrelation ausgewertet. Kraft-Weg-Kurven konnten erstellt werden, um die elastischen Eigenschaften der Drähte zu ermitteln. Die Daten wurden mit FEM-Simulationen und Literatur verglichen. Bruchmechanische Eigenschaften wurden ebenfalls in guter Übereinstimmung mit anderen Verfahren quantifiziert.
Autor*innen: | Nicole Wollschläger |
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Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Deutsch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2016 |
DDC-Klassifikation: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
Freie Schlagwörter: | Bildkorrelation; Mechanisches Testen; Rasterelektronenmikroskop; Silicium Nanodrähte |
Veranstaltung: | 4. Treffen AG "In-situ Prüfung im REM" |
Veranstaltungsort: | Kaiserslautern, Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 22.03.2016 |
Enddatum der Veranstaltung: | 23.03.2016 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 15.11.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |