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Multi-scale optical imaging methods for quality control of electronic devices

  • The presentation demonstrates an application of multi-scale optical imaging methods such as spectroscopic imaging ellipsometry and white light interference microscopy for the investigation of wide-bandgap semiconductors for power electronics. The capabilities of these methods for the development of new reference calibration samples for scanning microwave microscopes (SMM) and conductive atomic force microscopes (C AFM) are discussed.

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  • Photonics_Days_2023_Vortrag_Ermilova.pdf
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Metadaten
Autor*innen:Elena Ermilova
Koautor*innen:Matthias Weise, Andreas Hertwig
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2023
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:Imaging ellipsometry; Metrology; Nanoelectronics; Power electronics; Reference standards; White light interference microscopy
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Material
Material / Nano
Veranstaltung:Photonics Days Berlin Brandenburg 2023
Veranstaltungsort:Berlin, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:09.10.2023
Enddatum der Veranstaltung:10.10.2023
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:11.04.2024
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Ja
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