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Probenpräparation für AFM-basierte Untersuchungsverfahren

  • Der vorliegende Vortrag gibt einen Überblick über Probenpräparationen mit der Focused Ion Beam (FIB) für AFM-basierte Untersuchungsverfahren. Anhand zweier Beispiele wird gezeigt, wie ionenstrahlpolierte Lamellen aus Halbleiter-Schichtsystemen elektrisch leitfähig auf Substrate platziert werden, so dass in-situ und in-operando Messungen mit Scanning Microwave Microscope (SMM) bzw. Spectroscopic infrared scanning near-field optical microscope (IR-SNOM) durchgeführt werden können.
  • Adapted and advanced sample preparation of semiconductor layer systems with the focused ion beam for AFM-based test methods

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Metadaten
Autoren/innen:Bernd Bayerlein
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Deutsch
Jahr der Erstveröffentlichung:2019
Organisationseinheit der BAM:5 Werkstofftechnik
5 Werkstofftechnik / 5.1 Materialographie, Fraktographie und Alterung technischer Werkstoffe
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:AFM based test methods; Focused Ion Beam; Layer system; Sample preparation; Semiconductor materials
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Material
Material / Nanoskalige Materialien und deren Eigenschaften
Veranstaltung:15. Berlin-Brandenburger Präparatorentreffen
Veranstaltungsort:Potsdam/Golm, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:11.04.2019
Enddatum der Veranstaltung:11.04.2019
Verfügbarkeit des Volltexts:Volltext-PDF im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:17.04.2019
Referierte Publikation:Nein