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Accuracy on all scales: Hybrid metrology for micro- and nanomanufacturing

  • In this presentation, we discuss hybrid metrology and correlative imaging. These techniques are used to improve the design and quality monitoring of nanomaterials used in energy technology and for referencing the properties of nanoparticles.

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Autor*innen:Andreas HertwigORCiD
Koautor*innen:Jörg RadnikORCiD, Elena Ermilova, Vasile-Dan Hodoroaba
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2024
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:Correlative Imaging; Correlative Spectroscopy; Nanoanalytics; Nanotechnology
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Material
Material / Nano
Veranstaltung:EMN for Advanced Manufacturing workshop
Veranstaltungsort:Berlin, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:22.05.2024
Enddatum der Veranstaltung:23.05.2024
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:13.06.2024
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Ja
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