• Treffer 4 von 1581
Zurück zur Trefferliste

Determining Material Properties with Spectroscopic Ellipsometry

  • In this lecture, an introduction will be given on Spectroscopic Ellipsometry, what quantities can be obtained with it, and how we use it in ELENA and other projects to determine functional parameters of thin layers at the nanoscale.

Volltext Dateien herunterladen

  • ELENAM_School_pub_opus.pdf
    eng

Metadaten exportieren

Weitere Dienste

Teilen auf Twitter Suche bei Google Scholar Anzahl der Zugriffe auf dieses Dokument
Metadaten
Autor*innen:Andreas HertwigORCiD
Koautor*innen:Elena Ermilova, Deniz Hülagü
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2024
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:Electrical Paramters; Ellipsometry; Nanotechnology; Thin Layers
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Material
Material / Nano
Veranstaltung:Summer school ELENAM : metrology at the nanoscale
Veranstaltungsort:Fréjus, France
Beginndatum der Veranstaltung:02.06.2024
Enddatum der Veranstaltung:07.06.2024
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:13.06.2024
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Ja
Einverstanden
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.