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Correlation between Crystal Orientation, Channeling Contrast and Topography during FIB Milling of Cu Studied by FIB, EBSD, SEM, and AFM

  • We have studied the anisotropic milling of Cu with respect to the milling rate and the milling topography, as well. The background is twofold: i) anisotropic milling has to be taken into account during the preparation of TEM specimens and in the manufacturing of micro parts from crystalline materials, and ii) the orientation depending milling behaviour can be used to generate topographies with specific properties with respect to, for example, adsorption, wear, and corrosion.

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  • Wendt_07 PraktMetallogr.2007-44-236.pdf
    eng

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Metadaten
Autor*innen:U. Wendt, Gert Nolze
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Praktische Metallographie
Jahr der Erstveröffentlichung:2007
Verlag:Carl Hanser Verlag
Jahrgang/Band:44
Ausgabe/Heft:5
Erste Seite:236
Letzte Seite:238
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:AFM; Crystal orientation; FIB; SEM
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:01.11.2016
Referierte Publikation:Nein
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