Modell based ellipsometry standards for different application cases and their application for real non-ideal systems
- Ellipsometry enables the investigation of material properties over a broad spectral range. As a fast and non-destructive method, it is widely used in industry for quality assurance. Despite the wide application of ellipsometry and its high industrial relevance there are some material-specific standards and there have been no generally accepted standards dealing with model validation and measurement uncertainties. The first German standard DIN50989-1: 2018 Ellipsometry – Part1: Principles (currently international standard ISO 23131: 2021) marks the beginning of a 6-part standard series for ellipsometry, which was developed under consideration of GUM.
Autor*innen: | Elena Ermilova |
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Koautor*innen: | Uwe Beck, Andreas Hertwig |
Dokumenttyp: | Posterpräsentation |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2022 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse | |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Freie Schlagwörter: | Spectroscopic and imaging ellipsometry; Standards; Uncertainties |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Veranstaltung: | International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE-9) |
Veranstaltungsort: | Beijing, China |
Beginndatum der Veranstaltung: | 22.05.2022 |
Enddatum der Veranstaltung: | 28.05.2022 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 22.12.2022 |
Referierte Publikation: | Nein |