Preliminary work item (PWI) 23131 on standardization of ellipsometry
- The paper addresses the PRELIMINARY WORK ITEM (PWI) 23131 ON STANDARDIZATION OF ELLIPSOMETRY and the following points are discussed in more detail: Historical background of ellipsometry, Technical/industrial importance of ellipsometry and Standardization activities on ellipsometry.
Autor*innen: | Uwe Beck |
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Weitere Person: | Andreas HertwigORCiD, J. Winkler |
Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2018 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.7 Materialsynthese und Design | |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Freie Schlagwörter: | Accreditation; Ellipsometrie; Modelling; Standardization |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Veranstaltung: | ISO TC 107 and JWG 4 meeting |
Veranstaltungsort: | Levi, Finland |
Beginndatum der Veranstaltung: | 23.01.2018 |
Enddatum der Veranstaltung: | 24.01.2018 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 30.01.2018 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |