Ringversuch zur Klassifizierung von Kohlenstoffschichten mittels Ellipsometrie
- Der Vortrag widmet sich dem „Ringversuch zur Klassifizierung von Kohlenstoffschichten mittels Ellipsometrie“ und beschreibt die experimentellen Eckdaten, die Ellipsometrie als Messmethode am Beispiel DLC auf Stahl, Proben vs. n-k Ebene vs. Ergebnisse des Ringversuches, messtechnische Bewertung des Ringversuches und normative Bewertung des Ringversuches sowie Schlussfolgerungen.
Autor*innen: | Uwe Beck |
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Koautor*innen: | Andreas HertwigORCiD |
Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Deutsch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2016 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten | |
Freie Schlagwörter: | Amorphe Kohlenstoffschichten; Ellipsometrie; Klassifizierungssystem; Optische Konstanten |
Veranstaltung: | 9. Sitzung DIN NA 062-01-64 „Kohlenstoffschichten“ |
Veranstaltungsort: | Berlin, Deutschland |
Beginndatum der Veranstaltung: | 09.05.2016 |
Enddatum der Veranstaltung: | 09.05.2016 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 02.11.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |