Interlaboratory comparison: optical property classification of carbon-based films by ellipsometry
- The paper addresses the “INTERLABORATORY COMPARISON: OPTICAL PROPERTY CLASSIFICATION OF CARBON-BASED FILMS BY ELLIPSOMETRY” and the following points are discussed in more detail: Established classification for mechanical properties, Complementary classification for optical properties, Ellipsometry for determination of optical constants n-k plane as material fingerprint, Samples, participants & set-ups (samples: Japan, participants: Japan, Germany, France, set-ups: Japan, Germany, USA) and Results of interlaboratory comparison: thickness, n & k.
Autor*innen: | Uwe Beck, M. Hiratsuka |
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Weitere Person: | Ch. Spindler, N. Ohtake, Andreas HertwigORCiD, J. Becker, J. Gäbler, Th. Neubert, M. Vergöhl, J. Winkler, C. Eypert |
Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2017 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten | |
Freie Schlagwörter: | Carbon-based Films; Ellipsometry; Interlaboratory Comparison; Optical Property |
Veranstaltung: | ISO TC 107 Meeting Tokyo |
Veranstaltungsort: | Tokio, Japan |
Beginndatum der Veranstaltung: | 17.01 2017 |
Enddatum der Veranstaltung: | 20.01.2017 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 25.01.2017 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |