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Customized piezoresistive microprobes for combined imaging of topography and mechanical properties

  • Customized piezoresistive cantilever microprobes with a deflection range of 120 μm and silicon tips of 100 μm height were operated in a Cypher AFM showing their functionality for measuring topography together with stiffness, adhesion, and viscoelastic properties of thin films.

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Autor*innen:M. Fahrbach, Sebastian FriedrichORCiD, H. Behle, Min Xu, Brunero CappellaORCiD, U. Brand, E. Peiner
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Measurement: Sensors
Jahr der Erstveröffentlichung:2021
Organisationseinheit der BAM:9 Komponentensicherheit
9 Komponentensicherheit / 9.5 Tribologie und Verschleißschutz
Veröffentlichende Institution:Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
Verlag:Elsevier Ltd.
Jahrgang/Band:15
Erste Seite:100042
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:Atomic force microscopy; Cantilever microprobe; Contact resonance; Force-distance curves; Lubricants; Piezoresistive
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Material
DOI:10.1016/j.measen.2021.100042
URN:urn:nbn:de:kobv:b43-524225
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access")
Lizenz (Deutsch):License LogoCreative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International
Datum der Freischaltung:14.04.2021
Referierte Publikation:Nein
Schriftenreihen ohne Nummerierung:Wissenschaftliche Artikel der BAM
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