Determining Material Properties with Spectroscopic Ellipsometry
- In this lecture, an introduction will be given on Spectroscopic Ellipsometry, what quantities can be obtained with it, and how we use it in ELENA and other projects to determine functional parameters of thin layers at the nanoscale.
Autor*innen: | Andreas HertwigORCiD |
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Koautor*innen: | Elena Ermilova, Deniz Hülagü |
Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2024 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse | |
DDC-Klassifikation: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
Freie Schlagwörter: | Electrical Paramters; Ellipsometry; Nanotechnology; Thin Layers |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Material |
Material / Nano | |
Veranstaltung: | Summer school ELENAM : metrology at the nanoscale |
Veranstaltungsort: | Fréjus, France |
Beginndatum der Veranstaltung: | 02.06.2024 |
Enddatum der Veranstaltung: | 07.06.2024 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 13.06.2024 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Ja |