Ellipsometry as a production measurement tool
- Spectroscopic Ellipsometry is an enormously versatile measurement tool for surfaces and thin layers. We discuss the use of ellipsometry in the context of quality control in production processes of eletrconic devices.
Autor*innen: | Andreas HertwigORCiD |
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Koautor*innen: | Elena Ermilova |
Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2023 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse | |
DDC-Klassifikation: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
Freie Schlagwörter: | Ellipsometry; Metrology; Quality control |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Material |
Material / Nano | |
Veranstaltung: | Photonics Days Berlin Brandenburg |
Veranstaltungsort: | Berlin, Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 09.10.2023 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 11.04.2024 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Ja |