Accuracy on all scales: Hybrid metrology for micro- and nanomanufacturing
- In this presentation, we discuss hybrid metrology and correlative imaging. These techniques are used to improve the design and quality monitoring of nanomaterials used in energy technology and for referencing the properties of nanoparticles.
Autor*innen: | Andreas HertwigORCiD |
---|---|
Koautor*innen: | Jörg RadnikORCiD, Elena Ermilova, Vasile-Dan Hodoroaba |
Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2024 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse | |
DDC-Klassifikation: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
Freie Schlagwörter: | Correlative Imaging; Correlative Spectroscopy; Nanoanalytics; Nanotechnology |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Material |
Material / Nano | |
Veranstaltung: | EMN for Advanced Manufacturing workshop |
Veranstaltungsort: | Berlin, Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 22.05.2024 |
Enddatum der Veranstaltung: | 23.05.2024 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 13.06.2024 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Ja |