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Refined Calibration Model for Improving the Orientation Precision of Electron Backscatter Diffraction Maps
- For the precise determination of orientations in polycrystalline materials, electron backscatter diffraction (EBSD) requires a consistent calibration of the diffraction geometry in the scanning electron microscope (SEM). In the present paper, the variation of the projection center for the Kikuchi diffraction patterns which are measured by EBSD is calibrated using a projective transformation model for the SEM beam scan positions on the sample. Based on a full pattern matching approach between simulated and experimental Kikuchi patterns, individual projection center estimates are determined on a subgrid of the EBSD map, from which least-square fits to affine and projective transformations can be obtained. Reference measurements on single-crystalline silicon are used to quantify the orientation errors which result from different calibration models for the variation of the projection center.
Autor*innen: | A. Winkelmann, Gert Nolze, G. Cios, T. Tokarski, P. Bala |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Materials |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2020 |
Organisationseinheit der BAM: | 5 Werkstofftechnik |
5 Werkstofftechnik / 5.1 Mikrostruktur Design und Degradation | |
Veröffentlichende Institution: | Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) |
Verlag: | MDPI |
Jahrgang/Band: | 13 |
Ausgabe/Heft: | 12 |
Erste Seite: | 2816 |
DDC-Klassifikation: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
Freie Schlagwörter: | Electron backscatter diffraction; Kikuchi diffraction; Orientation precision; Projection center; Scanning electron microscopy |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Material |
DOI: | 10.3390/ma13122816 |
URN: | urn:nbn:de:kobv:b43-509342 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access") |
Lizenz (Deutsch): | Creative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International |
Datum der Freischaltung: | 24.06.2020 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 06.07.2020 |
Schriftenreihen ohne Nummerierung: | Wissenschaftliche Artikel der BAM |