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Calibrating a high-speed contact-resonance profilometer
- A European EMPIR project, which aims to use large-scale piezoresistive microprobes for contact resonance applications, a well-established measurement mode of atomic force microscopes (AFMs), is being funded. As the probes used in this project are much larger in size than typical AFM probes some of the simplifications and assumptions made for AFM probes are not applicable. This study presents a guide on how to systematically create a model that replicates the dynamic behavior of microprobes, including air damping, nonlinear sensitivities, and frequency dependencies. The model is then verified by analyzing a series of measurements.
Autor*innen: | M. Fahrbach, Sebastian FriedrichORCiD, Brunero CappellaORCiD, Erwin Peiner |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Sensors and Sensor Systems |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2020 |
Organisationseinheit der BAM: | 9 Komponentensicherheit |
9 Komponentensicherheit / 9.5 Tribologie und Verschleißschutz | |
Veröffentlichende Institution: | Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) |
Verlag: | Copernicus Publications |
Jahrgang/Band: | 9 |
Erste Seite: | 179 |
Letzte Seite: | 187 |
DDC-Klassifikation: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
Freie Schlagwörter: | AFM; Piezoresistive cantilever; contact resonance |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Material |
DOI: | 10.5194/jsss-9-179-2020 |
URN: | urn:nbn:de:kobv:b43-509899 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access") |
Lizenz (Deutsch): | Creative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International |
Datum der Freischaltung: | 09.07.2020 |
Referierte Publikation: | Nein |
Schriftenreihen ohne Nummerierung: | Wissenschaftliche Artikel der BAM |