BioPIC - Integration of Biosensors based on Photonic Integrated Circuits by Local-Backside Etching
- Silicon photonic sensors are promising candidates for lab-on-a-chip solutions with versatile applications and scalable production prospects using complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) fabrication methods. However, the widespread use has been hindered because the sensing area adjoins optical and electrical components making packaging and sensor handling challenging. In this work, a local back-side release of the photonic sensor is employed, enabling a separation of the sensing area from the rest of the chip. This approach allows preserving the compatibility of photonic integrated circuits in the front-end of line and metal interconnects in the back-end of line.
Autor*innen: | P. Steglich, C. Mai, S. Bondarenko, Martin Paul, Michael G. WellerORCiD, S. Schrader, A. Mai |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Tagungsband |
Veröffentlichungsform: | Graue Literatur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | ATTRACT Showroom |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2020 |
Organisationseinheit der BAM: | 1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien |
1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien / 1.5 Proteinanalytik | |
Erste Seite: | 1 |
Letzte Seite: | 5 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Freie Schlagwörter: | CMOS; Lab-on-a-chip; Microfluidics; Photonic Integrated Circuits; Photonic Sensor; Point-Of-Care-Diagnostics; Ring resonator; Silicon Photonics |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Chemie und Prozesstechnik / Chemische Charakterisierung und Spurenanalytik | |
Veranstaltung: | ATTRACT online Conference |
Veranstaltungsort: | Online meeting |
Beginndatum der Veranstaltung: | 22.09.2020 |
Enddatum der Veranstaltung: | 23.09.2020 |
URL: | https://attract-eu.com/showroom/project/integration-of-biosensors-based-on-photonic-integrated-circuits-by-local-backside-etching-biopic/ |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 07.12.2020 |
Referierte Publikation: | Nein |