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Plasma-Chemical Disposal of Silicon and Germanium Tetrachlorides Waste by Hydrogen Reduction
- The processes of hydrogen reduction of silicon and germanium chlorides under the conditions of high-frequency (40.68 MHz) counteracted arc discharge stabilized between two rod electrodes are investigated. The main gas-phase and solid products of plasma-chemical transformations are determined. Thermodynamic analysis of SiCl4 + H2 and GeCl4 + H2 systems for optimal process parameters was carried out. Using the example of hydrogen reduction of SiCl4 by the method of numerical modeling, gas-dynamic and thermal processes for this type of discharge are investigated. The impurity composition of gas-phase and solid reaction products is investigated. The possibility of single-stage production of high-purity Si and Ge mainly in the form of compact ingots, as well as high-purity chlorosilanes and trichlorogermane, is shown.
Autor*innen: | Roman Kornev, Igor GornushkinORCiD, Lubov Shabarova, Alena Kadomtseva, Georgy Mochalov, Nikita RekunovORCiD, Sergey Romanov, Vitaly MedovORCiD, Darya Belousova, Nikita Maleev |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Sci |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2024 |
Organisationseinheit der BAM: | 1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien |
1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien / 1.3 Instrumentelle Analytik | |
Veröffentlichende Institution: | Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) |
Verlag: | MDPI AG |
Jahrgang/Band: | 6 |
Ausgabe/Heft: | 1 |
Aufsatznummer: | 1 |
Erste Seite: | 1 |
Letzte Seite: | 12 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Freie Schlagwörter: | Germanium chlorides; High-frequency arc discharge; Hydrogen reduction; Silicon chlorides |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Chemie und Prozesstechnik / Chemische Charakterisierung und Spurenanalytik | |
DOI: | 10.3390/sci6010001 |
URN: | urn:nbn:de:kobv:b43-594454 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access") |
Lizenz (Deutsch): | Creative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International |
Datum der Freischaltung: | 30.01.2024 |
Referierte Publikation: | Nein |
Schriftenreihen ohne Nummerierung: | Wissenschaftliche Artikel der BAM |