Equilibrium Chemistry in BCl3–H2–Ar Plasma
- The approach, which was developed earlier for modeling chemical reactions in laser induced plasmas, is applied to radio-frequency discharge plasmas. The model is based on the assumption that all ionization processes and chemical reactions are at local thermodynamic equilibrium. A chemical composition of an argon-hydrogen plasma with an Addition of boron trichloride is studied as a function of plasma temperature and mole ratio H2∕BCl3. It is established that more than twenty simple and composite molecules and ions can be formed in the course of chemical reactions. The results are compared with those obtained earlier by means of another equilibrium model that uses ab-initio quantum chemical computations of thermochemical and kinetic data and a 0D thermochemical quilibrium solver.
Autor*innen: | Igor B. GornushkinORCiD, Sergej V. Shabanov, P. G. Sennikov |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Plasma Chemistry and Plasma Processing |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2019 |
Organisationseinheit der BAM: | 1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien |
1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien / 1.9 Chemische und optische Sensorik | |
Verlag: | Springer |
Jahrgang/Band: | 39 |
Ausgabe/Heft: | 4 |
Erste Seite: | 1087 |
Letzte Seite: | 1102 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Freie Schlagwörter: | Modeling chemical reactions; Plasma enhanced chemical vapor deposition; Plasma physics |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
DOI: | 10.1007/s11090-019-09985-6 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 17.04.2019 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 24.06.2019 |