Das Suchergebnis hat sich seit Ihrer Suchanfrage verändert. Eventuell werden Dokumente in anderer Reihenfolge angezeigt.
  • Treffer 13 von 2994
Zurück zur Trefferliste

Equilibrium Chemistry in BCl3–H2–Ar Plasma

  • The approach, which was developed earlier for modeling chemical reactions in laser induced plasmas, is applied to radio-frequency discharge plasmas. The model is based on the assumption that all ionization processes and chemical reactions are at local thermodynamic equilibrium. A chemical composition of an argon-hydrogen plasma with an Addition of boron trichloride is studied as a function of plasma temperature and mole ratio H2∕BCl3. It is established that more than twenty simple and composite molecules and ions can be formed in the course of chemical reactions. The results are compared with those obtained earlier by means of another equilibrium model that uses ab-initio quantum chemical computations of thermochemical and kinetic data and a 0D thermochemical quilibrium solver.

Volltext Dateien herunterladen

  • Equil Chem BCl3-H2-Ar Pl Chem Pl Proc 2019.pdf
    eng

Metadaten exportieren

Weitere Dienste

Teilen auf Twitter Suche bei Google Scholar
Metadaten
Autoren/innen:Igor Gornushkin, S. V. Shabanov, P. G. Sennikov
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Plasma Chemistry and Plasma Processing
Jahr der Erstveröffentlichung:2019
Organisationseinheit der BAM:1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien
1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien / 1.9 Chemische und optische Sensorik
Verlag:Springer
Erste Seite:1
Letzte Seite:16
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Freie Schlagwörter:Modeling chemical reactions; Plasma enhanced chemical vapor deposition; Plasma physics
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Analytical Sciences
Analytical Sciences / Zerstörungsfreie Prüfung und Spektroskopie
DOI:https://doi.org/10.1007/s11090-019-09985-6
Verfügbarkeit des Volltexts:Volltext-PDF im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:17.04.2019
Referierte Publikation:Nein