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Zitieren Sie bitte immer diesen URN: urn:nbn:de:kobv:b43-509902

A new test specimen for the determination of the field of view of small-area X-ray photoelectron spectrometers

  • Small-area/spot photoelectron spectroscopy (SAXPS) is a powerful tool for the investigation of small surface features like microstructures of electronic devices, sensors or other functional surfaces, and so forth. For evaluating the quality of such microstructures, it is often crucial to know whether a small signal in a spectrum is an unwanted contamination of the field of view (FoV), defined by the instrument settings, or it originated from outside. To address this issue, the d80/20 parameter of a line scan across a chemical edge is often used. However, the typical d80/20 parameter does not give information on contributions from the long tails of the X-ray beam intensity distribution or the electron-optical system as defined by apertures. In the VAMAS TWA2 A22 project “Applying planar, patterned, multi-metallic samples to assess the impact of analysis area in surface-chemical analysis,” new test specimen was developed and tested. The here presented testing material consists of aSmall-area/spot photoelectron spectroscopy (SAXPS) is a powerful tool for the investigation of small surface features like microstructures of electronic devices, sensors or other functional surfaces, and so forth. For evaluating the quality of such microstructures, it is often crucial to know whether a small signal in a spectrum is an unwanted contamination of the field of view (FoV), defined by the instrument settings, or it originated from outside. To address this issue, the d80/20 parameter of a line scan across a chemical edge is often used. However, the typical d80/20 parameter does not give information on contributions from the long tails of the X-ray beam intensity distribution or the electron-optical system as defined by apertures. In the VAMAS TWA2 A22 project “Applying planar, patterned, multi-metallic samples to assess the impact of analysis area in surface-chemical analysis,” new test specimen was developed and tested. The here presented testing material consists of a silicon wafer substrate with an Au-film and embedded Cr circular and square spots with decreasing dimensions from 200 μm down to 5 μm. The spot sizes are traceable to the length unit due to size measurements with a metrological SEM. For the evaluation of the FoV, we determined the Au4f intensities measured with the center of the FoV aligned with the center of the spot and normalized to the Au4f intensity determined on the Au-film. With this test specimen, it was possible to characterize, as an example, the FoV of a Kratos AXIS Ultra DLD XPS instrument.zeige mehrzeige weniger

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Autor*innen:Jörg M. Stockmann, Jörg RadnikORCiD, S. Bütefisch, I. Busch, T. Weimann, C. Passiu, A. Rossi, Wolfgang UngerORCiD
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Surface and Interface Analysis
Jahr der Erstveröffentlichung:2020
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
Veröffentlichende Institution:Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
Verlag:John Wiley & Sons Ltd
Jahrgang/Band:52
Ausgabe/Heft:12
Erste Seite:890
Letzte Seite:894
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Freie Schlagwörter:Field of view; Reference material; Selected area XPS; Small-area XPS; Small-spot XPS
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Chemie und Prozesstechnik
Veranstaltung:ECASIA 2019
Veranstaltungsort:Dresden, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:15.09.2019
Enddatum der Veranstaltung:20.09.2019
DOI:10.1002/sia.6831
URN:urn:nbn:de:kobv:b43-509902
ISSN:1096-9918
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access")
Lizenz (Deutsch):License LogoCreative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International
Datum der Freischaltung:09.07.2020
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:13.07.2020
Schriftenreihen ohne Nummerierung:Wissenschaftliche Artikel der BAM
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