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Curved-surface metrology by imaging Mueller-matrix ellipsometry

  • Outline - maging ellipsometry: oncept and setup - Basic theory: ellipsometry on tilted/curved surfaces - Geometric considerations - Tilt-induced cross-polarization - Application: coating analysis on microlensarray - Mueller-Matrix Imaging - Conversion to Delta-Psi Image - Layer-thickness of ITO coating

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Autor*innen:M. Duwe
Koautor*innen:Daniel Fischer, J.-H. Quast, S. Schneider, Uwe Beck
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2019
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.7 Materialsynthese und Design
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:Curved surfaces; Mueller-Matrix Ellipsometry; Spectroscopic Imaging
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Chemie und Prozesstechnik
Material
Veranstaltung:8th International conference on spectroscopic
Veranstaltungsort:Barcelona, Spain
Beginndatum der Veranstaltung:26.05.2019
Enddatum der Veranstaltung:31.05.2019
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:03.07.2019
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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