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Experimental determination of the effective attenuation length of palladium 3d 5/2 photoelectrons in a magnetron sputtered Pd nanolayer

  • An electron effective attenuation length (EAL) of 1.68nm for Al Kα excited Pd 3d 5/2 photoelectrons with a kinetic energy of 1.152 keV has been determined experimentally using a sputtered Pd film deposited on an ultra flat fused quartz substrate. The film thickness was reduced by Ar ion sputtering several times in order to obtain different Pd film thicknesses which are used to determine experimental EAL values. These results are compared to data generated by using a Simulation of Electron Spectra for Surface Analysis (SESSA) simulation using an inelastic mean free path (IMFP) calculated with the Tanuma–Powell–Penn (TPP)-2M formula and with ‘elastic scattering on and off’. Contributions to the uncertainty budget related to the experimental approach are discussed in detail. Proposals on how to further improve the approach are suggested.

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  • Dietrich_et_al-2017-Surface_and_Interface_Analysis.pdf
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Autor*innen:Paul Dietrich, Dieter Treu, Henryk Kalbe, M. Krumrey, Thomas Gross, K. Marti, Wolfgang UngerORCiD
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Surface and Interface Analysis
Jahr der Erstveröffentlichung:2017
Verlag:John Wiley & Sons, Ltd
Jahrgang/Band:49
Ausgabe/Heft:5
Erste Seite:464
Letzte Seite:468
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Freie Schlagwörter:Electron effective attenuation length; Pd 3d; XPS
DOI:10.1002/sia.6141
URL:http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/sia.6141/abstract?campaign=woletoc
ISSN:0142-2421
ISSN:1096-9918
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:06.04.2017
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:28.04.2017
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