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Enhanced DySEM imaging of cantilever motion using artificial structures patterned by focused ion beam techniques

  • We use a dynamic scanning electron microscope (DySEM) to map the spatial distribution of the vibration of a cantilever beam. The DySEM measurements are based on variations of the local secondary electron signal within the imaging electron beam diameter during an oscillation period of the cantilever. For this reason, the surface of a cantilever without topography or material variation does not allow any conclusions about the spatial distribution of vibration due to a lack of dynamic contrast. In order to overcome this limitation, artificial structures were added at defined positions on the cantilever surface using focused ion beam lithography patterning. The DySEM signal of such high-contrast structures is strongly improved, hence information about the surface vibration becomes accessible. Simulations of images of the vibrating cantilever have also been performed. The results of the simulation are in good agreement with the experimental images.
Metadaten
Autor*innen:Maria-Astrid Schröter, M. Ritter, M. Holschneider, Heinz SturmORCiD
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Journal of Micromechanics and Microengineering
Jahr der Erstveröffentlichung:2016
Veröffentlichende Institution:Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
Jahrgang/Band:26
Ausgabe/Heft:3
Erste Seite:035010-1
Letzte Seite:035010-7
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:AFM; DySEM; FIB patterning; Modal analysis; Structured cantilever
DOI:doi:10.1088/0960-1317/26/3/035010
URN:urn:nbn:de:kobv:b43-354510
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access")
Lizenz (Deutsch):License LogoCreative Commons - Namensnennung
Datum der Freischaltung:16.03.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:30.05.2016
Schriftenreihen ohne Nummerierung:Wissenschaftliche Artikel der BAM
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