Thin-film metrology of tilted and curved surfaces by imaging Mueller-matrix ellipsometry
- For the vast majority of ellipsometric measurements, the application of planar substrates is mandatory and requires a proper sample alignment prior to the measurement. Here, the authors present a generalized approach of how to extract the isotropic ellipsometric sample parameters from an imaging Mueller-matrix measurement even if the sample is significantly misaligned. They validate the method by layer-thickness calculations based on imaging Mueller-matrix measurements of flat crystalline silicon samples that were misaligned on purpose. Furthermore, they also exploit this method’s capabilities to perform spatially resolved layer-thickness measurements of a single-layer indium-tin-oxide coating on a fused-silica microlens without the need of realignment or repositioning of the sample during the measurement.
Autor*innen: | M. Duwe, J.-H. Quast, S. Schneider, Daniel Fischer, Uwe Beck |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Vacuum Science & Technology B |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2019 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.7 Materialsynthese und Design | |
Herausgeber (Institution): | American Vacuum Society |
Verlag: | AIP |
Verlagsort: | New York, NY |
Jahrgang/Band: | 37 |
Ausgabe/Heft: | 6 |
Erste Seite: | 062908 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten | |
Freie Schlagwörter: | Metrology; Mueller-Matrix imaging ellipsometry; Polarization spectroscopy; Spectroskopic Imaging; Thin films |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Material | |
Veranstaltung: | 8th International conference on spectroscopic ellipsometry (ICSE-8) |
Veranstaltungsort: | Barcelona, Spain |
Beginndatum der Veranstaltung: | 26.05.2019 |
Enddatum der Veranstaltung: | 31.05.2019 |
DOI: | 10.1116/1.5122757 |
ISSN: | 2166-2746 |
ISSN: | 2327-9877 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 22.01.2020 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 16.04.2020 |