Standardization of spectroscopic ellipsometry as GUM-compliant accredited measurement method
- Ellipsometry has become a powerful measurement tool in semiconductor industry since the sixties of the last century. Early standardization activities focused exclusively on SiO2/Si (ASTM F 576-01, SEMI 3624). The first generic standard dealing with ellipsometry is DIN 50989-1:2018 Ellipsometry – Part 1: Principles. Standardization is a prerequisite for accreditation according to DIN EN ISO/IEC 17025 and the evaluation of uncertainty budgets.
Autor*innen: | Elena Ermilova |
---|---|
Koautor*innen: | Andreas HertwigORCiD, Uwe Beck, S. Schneider, S. Peters |
Dokumenttyp: | Posterpräsentation |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2019 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.7 Materialsynthese und Design | |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten | |
Freie Schlagwörter: | Bulk material; GUM-compliance; Standardization of Ellipsometry; Uncertainty budgets |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Material | |
Veranstaltung: | 8th International conference on spectroscopic |
Veranstaltungsort: | Barcelona, Spain |
Beginndatum der Veranstaltung: | 26.05.2019 |
Enddatum der Veranstaltung: | 31.05.2019 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 02.07.2019 |
Referierte Publikation: | Nein |