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Optical and Tactile Measurements on SiC Sample Defects

  • The different defect types on SiC samples are measured with various measurement methods including optical and tactile methods. The defect types investigated include particles, carrots and triangles and they are analyzed with imaging ellipsometry, coherent Fourier scatterometry and atomic force microscopy. Each of these methods measures different properties of the defects and they all together contribute to a complete analysis.

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Autor*innen:Jana Grundmann, Elena Ermilova, Andreas Hertwig, Petr Klapetek, Silvania F. Pereira, Jila Rafighdoost, Bernd Bodermann
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Graue Literatur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):SMSI 2023 Conference – Sensor and Measurement Science International
Jahr der Erstveröffentlichung:2023
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
Veröffentlichende Institution:Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
Verlag:AMA Service
Verlagsort:Wunstorf
Jahrgang/Band:2023/D5
Erste Seite:233
Letzte Seite:234
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Freie Schlagwörter:Atomic force microscopy; Coherent Fourier scatterometry; Defects; Imaging ellipsometry; Silicon carbide
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Chemie und Prozesstechnik
Veranstaltung:SMSI 2023 - Sensor and Measurement Science International
Veranstaltungsort:Nuremberg, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:08.05.2023
Enddatum der Veranstaltung:11.05.2023
DOI:10.5162/SMSI2023/D5.2
URN:urn:nbn:de:kobv:b43-593397
ISBN:978-3-9819376-8-8
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access")
Lizenz (Deutsch):License LogoAllgemeines Deutsches Urheberrecht
Datum der Freischaltung:19.01.2024
Referierte Publikation:Nein
Schriftenreihen ohne Nummerierung:Wissenschaftliche Artikel der BAM
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