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Analysis of mesoporous iridium oxide thin films by the combined methodical approach SEM/EDS/STRATAGem

  • For the determination of porosity of Ir oxide thin films, electron probe microanalysis (EPMA) can be used as part of a combined SEM/EDS/STRATAGem analysis. The mass deposition (in μg cm-2) of films was calculated with the analysis software STRATAGem via k-values measured with EDS. The average density of coated films was obtained from the mass deposition and the film thickness as measured by the cross-section SEM. The porosity was calculated by dividing the average film density by the bulk (theoretical) density of the film material. Film porosities were counterchecked by spectroscopic ellipsometry (SE) using the Bruggeman effective medium approximation (BEMA). The results obtained by both analytical approaches/methods used, SEM/EDS/STRATAGem and SE were in good agreement.

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  • Sachse_et_al, MiMi, 2018, IrOxFilms.pdf
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Autor*innen:René SachseORCiD, Andreas HertwigORCiD, R. Kraehnert, Vasile-Dan HodoroabaORCiD
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Microscopy and Microanalysis
Jahr der Erstveröffentlichung:2018
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
6 Materialchemie / 6.7 Materialsynthese und Design
Verlag:Cambridge University Press
Verlagsort:New York, NY, U.S.A.
Jahrgang/Band:24
Ausgabe/Heft:S1 (August)
Erste Seite:762
Letzte Seite:763
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Freie Schlagwörter:Electron probe microanalysis (EPMA); Iridium oxide; Porous thin films; Spectroscopic ellipsometry
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Chemie und Prozesstechnik
DOI:10.1017/S1431927618004300
URL:https://www.cambridge.org/core/journals/microscopy-and-microanalysis/article/analysis-of-mesoporous-iridium-oxide-thin-films-by-the-combined-methodical-approach-semedsstratagem/7607018338B542D8B8C4D944392781EF
ISSN:1431-9276
ISSN:1435-8115
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:17.09.2018
Referierte Publikation:Nein
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