MetadatenAutor*innen: | Andreas Heunisch, Ulrich Marzok, Marco Münchow, Ralf Müller, Torsten Rabe |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Tagungsband |
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Veröffentlichungsform: | Graue Literatur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | CICMT 2013 - IMAPS/ACerS 9th International conference and exhibition on ceramic interconnect and ceramic microsystems technologies |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2013 |
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Erste Seite: | 275 |
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Letzte Seite: | 282 |
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Freie Schlagwörter: | Embedded cavities; High temperature laser profilometry; LTCC multilayer; Low pressure lamination; Micro fluidics |
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Veranstaltung: | CICMT 2013 - IMAPS/ACerS 9th International conference and exhibition on ceramic interconnect and ceramic microsystems technologies |
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Veranstaltungsort: | Orlando, FL, USA |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 2013-04-23 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 2013-04-25 |
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DOI: | 10.4071/cicmt-tha44 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
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Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
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Datum der Freischaltung: | 20.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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