Channeling-enhanced EDX for polarity resolved crystal orientation determination
- Using channeling-enhanced energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX), we demonstrate polarity sensitive orientation determination of a non-centrosymmetric crystal in the scanning electron microscope. The authors observe a characteristic asymmetry in the channeling-enhanced, angle-dependent EDX data of a GaAs sample, which is in good agreement to simulations using the dynamical theory of diffraction for the incident electron beam. This allows us to assign the orientation of the GaAs crystal according to the non-centrosymmetric point group. The method shown here overcomes the limitation of a reduced point-group sensitivity of electron backscatter diffraction Patterns and electron channeling patterns for crystalline phases that contain atoms of approximately equal electron scattering cross sections.
Autor*innen: | Aimo Winkelmann, Gert Nolze |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Crystal Research and Technology |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2016 |
Jahrgang/Band: | 51 |
Ausgabe/Heft: | 12 |
Erste Seite: | 752 |
Letzte Seite: | 756 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten | |
Freie Schlagwörter: | Channeling; Composition; EDS; EDX; GaAs; GaP |
DOI: | 10.1002/crat.201600258 |
ISSN: | 0232-1300 |
ISSN: | 0023-4753 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 03.01.2017 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 20.01.2017 |