Probenpräparation für AFM-basierte Untersuchungsverfahren
- Der vorliegende Vortrag gibt einen Überblick über Probenpräparationen mit der Focused Ion Beam (FIB) für AFM-basierte Untersuchungsverfahren. Anhand zweier Beispiele wird gezeigt, wie ionenstrahlpolierte Lamellen aus Halbleiter-Schichtsystemen elektrisch leitfähig auf Substrate platziert werden, so dass in-situ und in-operando Messungen mit Scanning Microwave Microscope (SMM) bzw. Spectroscopic infrared scanning near-field optical microscope (IR-SNOM) durchgeführt werden können.
- Adapted and advanced sample preparation of semiconductor layer systems with the focused ion beam for AFM-based test methods
Autor*innen: | Bernd BayerleinORCiD |
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Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Deutsch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2019 |
Organisationseinheit der BAM: | 5 Werkstofftechnik |
5 Werkstofftechnik / 5.1 Mikrostruktur Design und Degradation | |
DDC-Klassifikation: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
Freie Schlagwörter: | AFM based test methods; Focused Ion Beam; Layer system; Sample preparation; Semiconductor materials |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Material |
Material / Nano | |
Veranstaltung: | 15. Berlin-Brandenburger Präparatorentreffen |
Veranstaltungsort: | Potsdam/Golm, Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 11.04.2019 |
Enddatum der Veranstaltung: | 11.04.2019 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 17.04.2019 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |