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Channeling-enhanced EDX for polarity resolved crystal orientation determination

  • Using channeling-enhanced energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX), we demonstrate polarity sensitive orientation determination of a non-centrosymmetric crystal in the scanning electron microscope. The authors observe a characteristic asymmetry in the channeling-enhanced, angle-dependent EDX data of a GaAs sample, which is in good agreement to simulations using the dynamical theory of diffraction for the incident electron beam. This allows us to assign the orientation of the GaAs crystal according to the non-centrosymmetric point group. The method shown here overcomes the limitation of a reduced point-group sensitivity of electron backscatter diffraction Patterns and electron channeling patterns for crystalline phases that contain atoms of approximately equal electron scattering cross sections.

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  • Winkelmann_et_al-2016-Crystal_Research_and_Technology.pdf
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Autor*innen:Aimo Winkelmann, Gert Nolze
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Crystal Research and Technology
Jahr der Erstveröffentlichung:2016
Jahrgang/Band:51
Ausgabe/Heft:12
Erste Seite:752
Letzte Seite:756
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:Channeling; Composition; EDS; EDX; GaAs; GaP
DOI:10.1002/crat.201600258
ISSN:0232-1300
ISSN:0023-4753
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:03.01.2017
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:20.01.2017
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