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Effect of oxygen partial pressure on co-firing behavior and magnetic properties of LTCC modules with integrated NiCuZn ferrite layers

  • Low-κ dielectric LTCC was developed, to realize successful co-firing with NiCuZn ferrite tapes. A critical high-temperature process in the production of highly integrated LTCC modules is the migration of silver from inner conductors into the LTCC glass phase. Intensive silver migration causes strong deformation of LTCC multilayers during firing in air. Silver migration into the LTCC glass phase depends on oxygen content of the sintering atmosphere and can be minimized by sintering in nitrogen atmosphere. However, partial decomposition of NiCuZn-ferrite and formation of cuprite was observed during sintering in nitrogen and, consequently, the permeability of the ferrite decreases. As shown by a combined XRD/thermogravimetric study the co-firing of LTCC modules with silver metallization and integrated ferrite layer demands precise adjustment of oxygen partial pressure.

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  • Naghib-zadeh.... Jounal of Electroceramics.pdf
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Autor*innen:H. Naghib-zadeh, Gabriele Oder, J. Hesse, T. Reimann, J. Töpfer, Torsten Rabe
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Journal of Electroceramics
Jahr der Erstveröffentlichung:2016
Verlag:Springer Science+Business Media
Verlagsort:New York
Jahrgang/Band:37
Ausgabe/Heft:1-4
Erste Seite:100
Letzte Seite:109
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:Co-firing; Ferrite; LTCC; Silver diffusion
DOI:10.1007/s10832-016-0043-0
ISSN:1385-3449
ISSN:1573-8663
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:22.12.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:13.01.2017
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