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In situ characterization of the sintering behavior of LTCC laminates with embedded cavities by high temperature laser profilometry

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Autor*innen:Andreas Heunisch, Ulrich Marzok, Marco Münchow, Ralf Müller, Torsten Rabe
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Graue Literatur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):CICMT 2013 - IMAPS/ACerS 9th International conference and exhibition on ceramic interconnect and ceramic microsystems technologies
Jahr der Erstveröffentlichung:2013
Erste Seite:275
Letzte Seite:282
Freie Schlagwörter:Embedded cavities; High temperature laser profilometry; LTCC multilayer; Low pressure lamination; Micro fluidics
Veranstaltung:CICMT 2013 - IMAPS/ACerS 9th International conference and exhibition on ceramic interconnect and ceramic microsystems technologies
Veranstaltungsort:Orlando, FL, USA
Beginndatum der Veranstaltung:2013-04-23
Enddatum der Veranstaltung:2013-04-25
DOI:10.4071/cicmt-tha44
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:20.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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